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J-GLOBAL ID：201502208916628153   Reference number：15A1382111

大気圧低温プラズマ法により作製したAZO/ZnO2層膜のPL特性

Author (3)： TAKAKURA NAOYA (香川高専) ,  SUZAKI YOSHIFUMI (香川大) ,  SHIKAMA TOMOKAZU (香川高専)
Material： 電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Shikoku-Section Joint Convention Record of the Institutes of Electrical and Related Engineers (CD-ROM))
Volume： 2015  Page： ROMBUNNO.11-4  Publication year： Sep. 26, 2015 
JST Material Number： L1738B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *atmospheric plasma ,  *plasma ,  *zinc oxide ,  *thin film ,  *multilayer film ,  *photoluminescence ,  *characteristic ,  carrier gas ,  flow rate ,  Oxygen ,  gas flow rate ,  *cold plasma ,  *ZnO film ,  *bilayer
Semi thesaurus term： *Al-doped ZnO ,  *ZnO thin film ,  *bilayer film

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (4)： 大気圧低温プラズマ ,  作製 ,  Azo ,  PL