Art

J-GLOBAL ID：201502211524612519   Reference number：15A1152392

タングステン添加酸化亜鉛薄膜のセンサ評価

Author (6)： SAKAGUCHI ISAO (物質・材料研究機構) ,  SAITO NORIKO (物質・材料研究機構) ,  ADACHI YUTAKA (物質・材料研究機構) ,  WATANABE KEN (物質・材料研究機構) ,  SUZUKI TAKU (物質・材料研究機構) ,  HISHITA SHUN'ICHI (物質・材料研究機構)
Material： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集(CD-ROM)
Volume： 28th  Page： ROMBUNNO.2PS01  Publication year： Sep. 01, 2015 
JST Material Number： L2240B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zinc oxide ,  *addition (annex) ,  *semiconductor thin film ,  *pulsed laser deposition ,  substrate (plate) ,  sapphire ,  *gas sensor ,  *aliphatic alcohol ,  *sensitivity (ratio) ,  *Tungsten ,  Hydrogen ,  ore ,  precious stone
Semi thesaurus term： pulsed laser deposition

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Analytical instruments  (CC02020S)

Substance index (1)： Ethanol

Terms in the title (3)： タングステン ,  酸化亜鉛薄膜 ,  評価