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J-GLOBAL ID：201502212155985787   Reference number：15A1279604

A Low-Power Highly Sensitive Capacitive Accelerometer UC Using Auto-Zero Time-Multiplexed Differential Technique

自動ゼロ設定・時間多重・差動手法を使った低電力で高感度の容量加速度計IC

Author (4)： WANG Yan Mei (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  CHAN Pak Kwong (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LI Holden King Ho (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  ONG Soon-Eng (Nanyang Technological Univ., Singapore)
Material： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sens J)
Volume： 15  Issue： 11  Page： 6179-6191  Publication year： Nov. 2015 
JST Material Number： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *consumed electric power ,  *high sensitivity ,  *accelerometer ,  *SC circuit ,  *micromachining ,  *MEMS ,  cantilever beam ,  noise reduction ,  electric converter ,  data reading ,  1/f noise ,  drift(migration) ,  temperature fluctuation ,  thermal noise ,  noise analysis ,  semiconductor chip ,  *CMOS structure ,  OTA ,  voltage fluctuation ,  frequency fluctuation ,  *ASIC
Semi thesaurus term： low power ,  bulk micromachining ,  容量電圧変換器 ,  thermal drift ,  *容量性加速度計

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 多重 ,  差動 ,  手法 ,  低電力 ,  高感度 ,  加速度計 ,  IC