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J-GLOBAL ID：201502212520318817   Reference number：15A1289295

ナノ微細構造形成技術の新展開 4 ナノインプリント手法によるガラスやポリマー上での単原子レベル極微細パターン形成

Author (2)： MATSUDA AKIFUMI (東京工業大学) ,  YOSHIMOTO MAMORU (東京工業大学)
Material： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
Volume： 83  Issue： 11  Page： 1016-1020 (J-STAGE)  Publication year： 2015 
JST Material Number： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micro structure ,  *structure formation ,  *compression forming ,  *pattern formation ,  glass ,  polymer ,  ceramics ,  self-organizing ,  length ,  thermal plasticity ,  patterning(transcription) ,  material ,  cleavage(crystal)
Semi thesaurus term： *nanoimprint ,  polymer ,  atomic-scale ,  oxide glass ,  thermal plasticity ,  amorphous material ,  *micro-patterning

JST classification (2)： Electrochemistry in general  (CB07010N) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (9)： 微細構造 ,  展開 ,  ナノインプリント ,  手法 ,  ガラス ,  ポリマー ,  単原子 ,  極 ,  微細パターン形成