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J-GLOBAL ID：201502219819401812   Reference number：15A1181969

DEW-RESPONSE SENSOR BASED ON GALVANIC ACTION

ガルバニ作用に基づく結露応答センサ

Author (5)： KAWAKITA JIN (物質・材料研究機構) ,  CHIKYO TOYOHIRO (物質・材料研究機構) ,  NABATAME TOSHIHIDE (物質・材料研究機構) ,  OI AKIHIKO (物質・材料研究機構) ,  OKI TOMOKO (物質・材料研究機構)
Material： Chemical Sensors  (化学センサ)
Volume： 31  Issue： Supplement B  Page： 46-48  Publication year： Sep. 11, 2015 
JST Material Number： L3948A  CODEN： KAGSEU  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *dew condensation ,  *aquameter ,  *humidity sensor ,  response ,  *high sensitivity ,  *consumed electric power ,  *Water ,  *electrolytic solution (electrochemistry) ,  electric current ,  *droplet ,  electrode ,  *current sensor ,  photolithography ,  fine patterning ,  silicon ,  wafer ,  experiment ,  gap ,  environmental water ,  electrode gap (plasma)
Semi thesaurus term： fast responding ,  low power ,  current response ,  comb-type electrode ,  lift off ,  electrode gap

JST classification (2)： Hygrometry,hygrometer  (AD06020V) ,  Measuring methods and instruments of current,voltage,charge  (AD07020C)

Reference (1)：

• http://www.apiste.co.jp/faq/pau/detail/id=2502

Terms in the title (2)： 結露 ,  応答