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J-GLOBAL ID：201502220606908822   Reference number：15A1087708

光導波路用のSiC薄膜における透明性の向上について研究

Author (4)： ICHIKAWA NAOYA (東京工高専) ,  HOSHI HAYATO (東京工高専) ,  NIKKUNI HIROYUKI (東京工高専) ,  ITO HIROSHI (東京工高専)
Material： 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(CD-ROM))
Volume： 2015  Issue： ソサイエティ大会  Page： ROMBUNNO.C-3-28  Publication year： Aug. 25, 2015 
JST Material Number： G0508B  ISSN： 1349-144X  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： optical waveguide ,  silicon carbide ,  *semiconductor thin film ,  transparent material

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： 光導波路 ,  SiC ,  薄膜 ,  透明性 ,  研究