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J-GLOBAL ID：201502221401300720   Reference number：15A1033294

Introduction to Vacuum Science and Technology for Absolute Beginners

真空技術超入門

Author (1)： ICHIMURA MASAYA (名古屋工業大学)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 58  Issue： 8  Page： 273-281 (J-STAGE)  Publication year： 2015 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Vacuum ,  *vacuum pump ,  *vacuum technology ,  *vacuum gage ,  vacuum degassing ,  vacuum equipment ,  degree of vacuum ,  conductance

JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (5)：

• N. Matuda: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 199.
• K. Fukutani: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 204.
• H. Akimichi: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 220.
• J. Yuyama and Y. Suetsugu: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 210.
• 真空技術基礎講習会運営委員会:わかりやすい真空技術(日刊工業新聞社,東京,1990).

Terms in the title (1)： 真空技術