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J-GLOBAL ID：201502225530883907   Reference number：15A0085105

斜め蒸着による金属ナノコラムの成長に与える雰囲気ガスの影響

Author (4)： ITO TAKAMASA (京大 大学院) ,  NAKAJIMA KAORU (京大 大学院) ,  KIMURA KENJI (京大 大学院) ,  SUZUKI MOTOFUMI (京大 大学院)
Material： 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集  (日本学術会議材料工学連合講演会論文集)
Volume： 58th  Page： 228-229  Publication year： Oct. 27, 2014 
JST Material Number： L2574A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Silver ,  *electron beam deposition ,  nanostructure ,  *columnar crystal ,  crystal growth ,  gas ,  atmosphere (environment) ,  scanning electron microscope

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 斜め蒸着 ,  ナノコラム ,  成長 ,  雰囲気ガス