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J-GLOBAL ID：201502230653483974   Reference number：15A0494964

Preparation of superconducting films by metal organic deposition - Research and development towards a fault current limiter and other electric devices -

塗布熱分解法による超電導膜の合成 - 限流器等への研究展開 -

Author (6)： MANABE TAKAAKI (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  SOUMA MITSUGU (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  YAMAGUCHI IWAO (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  MATSUI HIROAKI (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  TSUCHIYA TETSUO (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門) ,  KUMAGAI TOSHIYA (産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門)
Material： Synthesiology  (構成学)
Volume： 7  Issue： 4  Page： 247-257 (J-STAGE)  Publication year： 2014 
JST Material Number： L6839A  ISSN： 1882-6229  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *superconducting thin film ,  microwave irradiation ,  chemical synthesis ,  *thermal decomposition ,  painting and coating ,  *current limiter ,  microwave ,  metal oxide ,  production technology ,  Technology ,  technology development ,  superconductor ,  oxide ,  high temperature superconductor ,  solid state device ,  area ,  firing (heat treatment) ,  microwave electronic device ,  microwave synthesis ,  oxide superconductor ,  large area
Semi thesaurus term： component technology

JST classification (3)： Properties of superconductors in general  (BM04021A) ,  Thin films in general  (BK14010X) ,  Protective equipment  (NB09040T)

Reference (45)：

• [1] 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構:「交流超電導電力機器基盤技術研究開発」事業原簿, I-2-I-6 (2005). http://www.nedo.go.jp/content/100091370.pdf
• [2] 大熊武, 岩田良浩: 超電導限流器, 電気学会誌, 117 (4), 222-226 (1997).
• [3] 水田 進, 熊谷俊弥, 真部高明: 塗布熱分解法による超伝導膜の合成, 日本化学会誌, 1997 (1), 11-23 (1997).
• [4] 山口 巖, 真部高明, 熊谷俊弥, 水田 進: 塗布熱分解法によるエピタキシャル酸化物膜の作製, 日本応用磁気学会誌, 24 (8), 1173-1180 (2000).
• [5] 荒木猛司, 山際勝也, 平林泉: トリフルオロ酢酸塩(TFA)を用いるMetalorganic deposition (MOD)法によるYBCO成膜とプロセス条件, 低温工学, 35 (11), 516-522 (2000).

Terms in the title (4)： 超電導膜 ,  限流器 ,  研究 ,  展開