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J-GLOBAL ID：201502234112997164   Reference number：15A0584864

記載が望まれる計装化押込み試験用参照試験片の機械的特性と圧子の形状

Author (5)： ISHIBASHI TATSUYA ,  YOSHIKAWA YUSUKE (矢崎総業 技研) ,  TAKAGI SATOSHI (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  KATAYAMA SHIGEO (フィッシャー・インストルメンツ) ,  OKI MOTOFUMI (新潟大 工)
Material： 材料試験技術  (Journal of Material Testing Research Association of Japan)
Volume： 60  Issue： 2  Page： 93-101  Publication year： Apr. 15, 2015 
JST Material Number： S0909A  ISSN： 0285-2470  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： instrumentation ,  *indentation ,  indentation hardness ,  hardness test ,  reference ,  *test piece ,  *mechanical property ,  indenter ,  morphology(form) ,  ISO Standard ,  semiconductor device ,  indentation(recess) ,  single crystal ,  diamond

JST classification (2)： Material testing in general  (HB01000R) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Reference (23)：

• ISO 14577-Part1,2,3(2002)
• エド・レジス;ナノテクの楽園(訳・大貫昌子),工作舎(1997)
• J.ストーズ・ホール;ナノフューチャー(訳・斉藤隆央),紀伊国屋書店(2007)
• 久山敬二;NIKKEI NET Vol.21 プラズマエッチング技術・半導体デバイスの微細化を推進(2)(2009)
• インターネット;「東芝,回路線幅15ナノメートルのNAND型フラッシュ量産」(2014/04/24)

Terms in the title (6)： 計装 ,  押込み試験 ,  参照 ,  試験片 ,  機械的特性 ,  圧子