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J-GLOBAL ID：201502236346753911   Reference number：15A0393231

第11回 ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開~ベンチャー,中小から大企業まで~東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

Author (3)： TOTSU KENTARO (東北大 “西澤潤一記念研究セ”) ,  MORIYAMA MASAAKI (東北大 “西澤潤一記念研究セ”) ,  SUZUKI YUKIO (東北大 “西澤潤一記念研究セ”)
Material： 工業材料  (Engineering Materials)
Volume： 63  Issue： 4  Page： 52-54  Publication year： Apr. 01, 2015 
JST Material Number： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： university ,  *nanotechnology ,  facility and building ,  public administration ,  furtherance ,  research and development ,  *fine patterning ,  MEMS ,  micromachining ,  *semiconductor device ,  optical element ,  trial manufacture ,  speed sensor ,  radioactive ray ,  manpower training
Semi thesaurus term： acceleration sensor ,  common use facility ,  research support ,  東北大学 ,  MEXT ,  放射線センサ

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (9)： ナノテクノロジープラットフォーム ,  活用 ,  研究 ,  開発 ,  展開 ,  大企業 ,  マイクロシステム ,  融合 ,  センター