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J-GLOBAL ID：201502241157189987   Reference number：15A0580197

Chemical State Analysis with Soft-X-ray Emission Spectroscopy Based on SEM

SEMでの軟X線発光分光による化学状態分析

Author (3)： TERAUCHI MASAMI (東北大学多元物質科学研究所) ,  IMAZONO TAKASHI (原子力機構 量子ビーム応用研究センター) ,  KOIKE MASATO (原子力機構 量子ビーム応用研究センター)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 36  Issue： 4  Page： 184-188 (J-STAGE)  Publication year： 2015 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,  *soft X-ray ,  X-ray spectroscopy ,  *state analysis ,  grazing incidence ,  aberration correction ,  diffraction grating ,  high-resolution ,  emission spectrum ,  band structure ,  Magnesium ,  silicon ,  Titanium ,  boron ,  electron beam

JST classification (1)： Other phsical analysis  (CC03014E)

Reference (14)：

• 1) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 50, 101 (2001).
• 2) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 59, 251 (2010).
• 3) 寺内正己: 顕微鏡 46, 105 (2011).
• 4) M. Terauchi et al.: Journal of Electron Microscopy 61, 1 (2012).
• 5) M. Terauchi et al.: Microscopy 62, 391 (2013).

Terms in the title (4)： SEM ,  軟X線発光分光 ,  化学 ,  状態分析