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J-GLOBAL ID：201502247351796310   Reference number：15A0525660

Development of Digital Detection Sensor for Characterization of Acoustic Emission Signals

デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発

Author (4)： MUTO KAZUO (八戸工大) ,  KAWASHIMA TAKAHIRO (豊橋技科大 機械工学系) ,  NAGAI MOETO (豊橋技科大 機械工学系) ,  SHIBATA TAKAYUKI (豊橋技科大 機械工学系)
Material： 八戸工業大学紀要  (Bulletin of Hachinohe Institute of Technology)
Volume： 34  Page： 1-6  Publication year： Mar. 31, 2015 
JST Material Number： Y0587A  ISSN： 0287-1866  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *sensor ,  *acoustic emission ,  AE inspection ,  *digital method ,  *piezoelectric device ,  *cantilever beam ,  elastic wave ,  MEMS ,  SOI structure ,  substrate(plate) ,  frequency characteristic ,  laser irradiation ,  displacement measurement ,  resonance frequency ,  impurity diffusion ,  impurity distribution
Semi thesaurus term： acoustic emission sensor ,  piezoresistive devices

JST classification (2)： Acoustical measurements and instrumentation  (BB03040R) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (3)： デジタル式 ,  アコースティックエミッションセンサ ,  開発