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J-GLOBAL ID：201503001997991532
カーボンナノチューブの形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012138437
Publication number (International publication number)：2014001111
Patent number：5770683
Application date： Jun. 20, 2012
Publication date： Jan. 09, 2014
Claim (excerpt)：
【請求項1】 カーボンナノチューブ成長触媒として機能する触媒物質からなる微粒子を基板の上に配置する第1工程と、
前記微粒子が配置された前記基板の上に有機樹脂を塗布して塗布膜を形成する第2工程と、
前記塗布膜を形成した前記基板を不活性な雰囲気で加熱して前記微粒子よりカーボンナノチューブを成長させる第3工程と
を少なくとも備え、
前記第1工程では、
前記基板の上にFe、Co、Niのいずれかの金属から構成された触媒物質の層を層厚1nm以下に形成した後、前記基板を加熱して前記触媒物質の層を微粒子化する、
または、
Fe、Co、Niのいずれかの金属から構成された触媒物質の微粒子が分散している塗布液を塗布することで、前記基板上に前記微粒子を配置する、
または、
ステンレス製のピンセットの先で基板上のSiO2膜にひっかき傷をつけることで、FeまたはNiを含む粒子をSiO2膜の上に前記微粒子として付着させる、
のいずれかにより前記微粒子を前記基板の上に配置する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの形成方法。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
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チューブ積層体及びその製造法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-069071
Applicant：株式会社日立製作所
Article cited by the Patent：
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