Pat

J-GLOBAL ID：201503004188902420

熱量センサ及びそれを用いた熱量検出装置並びに熱量センサの製造方法

Inventor： 小野 祟人 ,  猪股 直生 ,  戸田 雅也
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (1)： 平山 一幸
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012061235
Publication number (International publication number)：2013195171
Patent number：5754693
Application date： Mar. 16, 2012
Publication date： Sep. 30, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 測定室と、該測定室に隣接して配設される側壁と、該側壁に隣接して配設されるマイクロ流路と、該測定室、該側壁及び該マイクロ流路に配設される梁と、を含み、 上記梁は、上記測定室に浮遊して配置される測定部と、上記マイクロ流路に浮遊して配置されるマイクロ流路接触部と、上記側壁上に配設され上記測定部と上記マイクロ流路接触部とを連結する連結部と、から構成されており、 上記マイクロ流路で発生する熱を上記測定室に配置された梁の温度変化として検知する、熱量センサ。

IPC (4)：

G01N 25/20 ( 200 6.01) ,  G01K 17/00 ( 200 6.01) ,  G01N 37/00 ( 200 6.01) ,  G01N 35/08 ( 200 6.01)

FI (4)：

G01N 25/20 J ,  G01K 17/00 A ,  G01N 37/00 101 ,  G01N 35/08 A