トポロジカル相変化論理ゲート及びその駆動方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：北野好人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014033685
Publication number (International publication number)：2015159211
Application date： Feb. 25, 2014
Publication date： Sep. 03, 2015
Summary：

【課題】省電力化と高速演算とを両立しうるトポロジカル相変化論理ゲートを提供する。【解決手段】電界印加でトポロジカル相転移生じる相変化材料を含む第1チャネル層26と、第1チャネル層26に接続された第1ソース電極32及び第1ドレイン電極34と、第1チャネル層26の一面側に形成された第1ゲート電極と、他面側に形成された第2ゲート電極30と、薄膜部が厚膜部により挟まれている第1の絶縁膜22とを有す第1のトランジスタ20と、電界印加でトポロジカル相転移生じる相変化材料を含む第2チャネル層46と、第2のチャネル層46に接続された第2のソース電極52及び第2のドレイン電極54と、第2チャネル層46の一面側に形成された第3ゲート電極と、他面側に第4ゲート電極50と、厚膜部が薄膜部により挟まれている第2の絶縁膜42とを有す第2トランジスタ40とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電界の印加によりトポロジカル相転移が生じる相変化材料を含む第1のチャネル層と、前記第1のチャネル層に接続された第1のソース電極及び第1のドレイン電極と、前記第1のチャネル層の一面側に形成された第1のゲート電極と、前記第1のチャネル層の他面側に形成された第2のゲート電極と、前記第1のチャネル層と前記第1のゲート電極との間に形成された第1の絶縁膜とを有し、前記第1の絶縁膜は、第1の膜厚を有する第1の薄膜部と、前記第1の膜厚よりも厚い第2の膜厚を有する第1の厚膜部とを有し、前記第1の薄膜部は前記第1の厚膜部により挟まれている第1のトランジスタと、電界の印加によりトポロジカル相転移が生じる相変化材料を含む第2のチャネル層と、前記第2のチャネル層に接続された第2のソース電極及び第2のドレイン電極と、前記第2のチャネル層の一面側に形成された第3のゲート電極と、前記第2のチャネル層の他面側に形成された第4のゲート電極と、前記第2のチャネル層と前記第3のゲート電極との間に形成された第2の絶縁膜とを有し、前記第2の絶縁膜は、第3の膜厚を有する第2の厚膜部と、前記第3の膜厚よりも薄い第4の膜厚を有する第2の薄膜部とを有し、前記第2の厚膜部は前記第2の薄膜部により挟まれている第2のトランジスタとを有することを特徴とするトポロジカル相変化論理ゲート。

IPC (8)：

H01L 21/823 , H01L 27/092 , H01L 29/786 , H01L 29/26 , H01L 21/28 , H01L 21/283 , H01L 21/285 , H01L 29/41

FI (9)：

H01L27/08 321C , H01L29/78 618B , H01L29/78 618E , H01L29/26 , H01L21/28 301R , H01L21/283 C , H01L21/285 S , H01L21/285 301 , H01L29/44 L

F-Term (52)：

4M104AA01 , 4M104BB30 , 4M104CC05 , 4M104DD37 , 4M104DD64 , 4M104DD65 , 4M104EE11 , 4M104EE14 , 4M104FF02 , 4M104GG10 , 5F048AB03 , 5F048AC04 , 5F048BA14 , 5F048BA16 , 5F048BB02 , 5F048BB14 , 5F048BB16 , 5F048BD01 , 5F048BF16 , 5F110AA01 , 5F110AA09 , 5F110BB04 , 5F110BB13 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD21 , 5F110DD25 , 5F110EE01 , 5F110EE08 , 5F110EE30 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF12 , 5F110FF23 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG17 , 5F110GG20 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG43 , 5F110HK01 , 5F110HK33

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