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J-GLOBAL ID：201503006430009534

偏光検査装置

Inventor： 松本 憲典 ,  坪田 孝志 ,  濱口 豊明 ,  伊藤 昭成
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (5)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014113950
Publication number (International publication number)：2015227827
Application date： Jun. 02, 2014
Publication date： Dec. 17, 2015
Summary：

【課題】検査対象物が移動している状態であっても、検査対象物の膜質を精度良く検査することが可能な偏光検査装置を提供する。【解決手段】偏光検査装置1は、偏光状態及び波長が互いに異なる複数の光L11〜L14を検査対象物Fに照射する照射部10と、検査対象物Fから得られる複数の光L21〜L24を波長分離して個別に受光する受光部20と、受光部20から出力される画像信号G1〜G4を用いて楕円方位角、偏光度、及び偏光成分強度の少なくとも1つを求めて検査対象物Fの良否判定を行う処理部30とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

偏光状態が異なる複数の光を用いて検査対象物の検査を行う偏光検査装置において、 偏光状態及び波長が互いに異なる複数の光を前記検査対象物に照射する照射部と、 前記検査対象物から得られる複数の光を波長分離して個別に受光する受光部と、 前記受光部から出力される受光信号を用いて楕円方位角、偏光度、及び偏光成分強度の少なくとも1つを求めて前記検査対象物の良否判定を行う処理部と を備えることを特徴とする偏光検査装置。

IPC (1)：

G01N 21/88

FI (1)：

G01N21/88 H

F-Term (14)：

2G051AA41 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC12 ,  2G051DA06 ,  2G051EB01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 欠陥検査方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-004628   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ