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J-GLOBAL ID：201503008030953392
プローバ付き原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014072370
Publication number (International publication number)：2015194395
Application date： Mar. 31, 2014
Publication date： Nov. 05, 2015
Summary：
【課題】試料を載置したステージを駆動することで試料のスキャンを行うAFMで、スキャンを行っている間も試料にプローバ探針を接触させて、各種の刺激を与えながらのAFM計測を可能とする。 【解決手段】ステージにプローバを取り付けて、スキャン中にプローバ探針と試料とが相対運動しないようにする。これにより、スキャン中にプローバ探針とステージとの同期操作を行わなくても、プローバ探針と試料との接続状態が静止時と同様に維持される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
原子間力顕微鏡計測の対象となる試料が載置され、原子間力顕微鏡用カンチレバーに対して移動することで前記原子間力顕微鏡用カンチレバーが前記試料をスキャンするステージと、
前記ステージに取り付けられ、前記ステージに対して相対的に移動されるプローバ探針を有するプローバと
を設けた、プローバ付き原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
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