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J-GLOBAL ID：201503008818860387

鉄シリサイド半導体、鉄シリサイド半導体薄膜の製造方法、並びに発光素子及び受光素子

Inventor： 秋山 賢輔 ,  松本 佳久 ,  高橋 亮 ,  長沼 康弘
Applicant, Patent owner： 神奈川県
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014028804
Publication number (International publication number)：2015154005
Application date： Feb. 18, 2014
Publication date： Aug. 24, 2015
Summary：

【課題】高効率で受発光可能なβ鉄シリサイド半導体薄膜を提供し、電流を流すことで発光可能なβ鉄シリサイド半導体及びその薄膜を容易に作製できる製造方法と、高効率の発光効率及び受光効率を有する発光素子及び受光素子を提供する。【解決手段】光-電気変換用のβ鉄シリサイド半導体薄膜は、0.5乃至5原子%の金、0.2乃至7原子%の窒素、0.2乃至7原子%の炭素、0.2乃至7原子%のリン、0.2乃至7原子%の酸素、及び0.2乃至7原子%の塩素からなる群から選択された少なくとも1種の元素が添加されたβ鉄シリサイドからなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光-電気変換用のβ鉄シリサイド半導体薄膜において、0.5乃至5原子%の金、0.2乃至7原子%の窒素、0.2乃至7原子%の炭素、0.2乃至7原子%のリン、0.2乃至7原子%の酸素、及び0.2乃至7原子%の塩素からなる群から選択された少なくとも1種の元素が添加されたβ鉄シリサイドからなることを特徴とするβ鉄シリサイド半導体薄膜。

IPC (10)：

H01L 21/363 ,  H01L 21/365 ,  C23C 16/42 ,  C23C 14/06 ,  C30B 29/10 ,  C30B 23/08 ,  C30B 25/14 ,  C01B 33/06 ,  H01L 31/10 ,  H01L 33/34

FI (10)：

H01L21/363 ,  H01L21/365 ,  C23C16/42 ,  C23C14/06 E ,  C30B29/10 ,  C30B23/08 ,  C30B25/14 ,  C01B33/06 ,  H01L31/10 A ,  H01L33/00 188

F-Term (111)：

4G072AA20 ,  4G072BB09 ,  4G072FF04 ,  4G072GG02 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH02 ,  4G072JJ02 ,  4G072JJ03 ,  4G072JJ06 ,  4G072JJ07 ,  4G072JJ09 ,  4G072JJ34 ,  4G072LL02 ,  4G072LL05 ,  4G072NN11 ,  4G072NN13 ,  4G072RR11 ,  4G072TT19 ,  4G072UU01 ,  4G072UU30 ,  4G077AA03 ,  4G077AB01 ,  4G077BE05 ,  4G077DA11 ,  4G077DB05 ,  4G077DB06 ,  4G077EB01 ,  4G077EB04 ,  4G077EB10 ,  4G077ED06 ,  4G077HA02 ,  4G077SA04 ,  4G077SA07 ,  4G077SB01 ,  4G077TA04 ,  4G077TB03 ,  4G077TB05 ,  4G077TC02 ,  4G077TC06 ,  4G077TF01 ,  4G077TK01 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DA08 ,  4K029DC15 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029EA08 ,  4K029GA01 ,  4K030AA02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA12 ,  4K030AA16 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA07 ,  4K030BA29 ,  4K030CA04 ,  4K030DA09 ,  4K030FA10 ,  4K030JA10 ,  4K030LA16 ,  5F045AB30 ,  5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC03 ,  5F045AC07 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC19 ,  5F045AD11 ,  5F045AE15 ,  5F045AF03 ,  5F045CA10 ,  5F045CA13 ,  5F045DA52 ,  5F045DA62 ,  5F045DP02 ,  5F045HA15 ,  5F045HA16 ,  5F049MA03 ,  5F049MB01 ,  5F049NB01 ,  5F049PA04 ,  5F049PA07 ,  5F049SS02 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD30 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103KK07 ,  5F103KK10 ,  5F103LL02 ,  5F103LL05 ,  5F103NN01 ,  5F103PP03 ,  5F141CA04 ,  5F141CA33 ,  5F141CA64 ,  5F141CA73 ,  5F141FF14 ,  5F241CA04 ,  5F241CA33 ,  5F241CA64 ,  5F241CA73 ,  5F241FF14