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J-GLOBAL ID：201503010341605775

静電アクチュエータ及び電位差検出装置

Inventor： 橋口 原 ,  杉山 達彦
Applicant, Patent owner： 国立大学法人静岡大学
Agent (3)： 長谷川 芳樹 ,  近藤 伊知良 ,  諏澤 勇司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014088379
Publication number (International publication number)：2015208160
Application date： Apr. 22, 2014
Publication date： Nov. 19, 2015
Summary：

【課題】簡易な構成で変位の線形化を実現できる静電アクチュエータ及びそれを用いた電位差検出装置を提供する。【解決手段】電位差検出装置1は、可動電極7と、一対の固定電極11,12と、可動電極7を第2の方向に移動可能に支持する支持部材9と、固定電極11,12及び可動電極7に接続される電圧印加部14と、を備え、可動櫛歯部17のうち本体部15の一方の端部側に設けられた可動櫛歯部17、又は、一対の固定電極11,12のうち一方の固定電極11,12の固定櫛歯部19,20、又は、可動櫛歯部17のうち本体部15の一方の端部側に設けられた可動櫛歯部17と当該可動櫛歯部17とは対向しない固定電極11,12の固定櫛歯部19,20、が永久電荷化されている静電アクチュエータ3と、可動電極7の変位に基づいて、電圧印加部14の電位差を検出する電位差検出部5と、を備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1の方向に沿って延在する本体部と、当該本体部における前記第1の方向に直交する第2の方向の両端部から当該第2の方向に沿って延伸する可動櫛歯部と、を有する可動電極と、 前記可動電極を前記第2の方向において挟む位置に対向して配置される固定電極であって、前記第2の方向に延伸すると共に前記可動櫛歯部を前記第1の方向で挟む位置に対向して設けられる少なくとも一対の固定櫛歯部をそれぞれ有する一対の該固定電極と、 前記可動電極を前記第2の方向に移動可能に支持する支持部材と、 前記固定電極及び前記可動電極に接続される電圧印加部と、を備え、 前記可動櫛歯部のうち前記本体部の一方の端部側に設けられた前記可動櫛歯部、又は、一対の前記固定電極のうち一方の前記固定電極の前記固定櫛歯部、又は、前記可動櫛歯部のうち前記本体部の一方の端部側に設けられた前記可動櫛歯部と当該可動櫛歯部とは対向しない前記固定電極の前記固定櫛歯部、が永久電荷化されている、静電アクチュエータ。

IPC (1)：

H02N 1/00

FI (1)：

H02N1/00