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J-GLOBAL ID：201503020106688782

積層体の製造方法および積層体

Inventor： 木原 直人 ,  見矢木 崇平
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 特許業務法人サクラ国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012153497
Publication number (International publication number)：2015166287
Application date： Jul. 09, 2012
Publication date： Sep. 24, 2015
Summary：

【課題】ルチル型酸化チタンから主としてなる酸化チタン層を有する積層体の製造方法であって、成膜時の温度および成膜後の熱処理温度を比較的低温にできる積層体の製造方法を提供する。【解決手段】積層体の製造方法は、成膜工程と熱処理工程とを有する。成膜工程は、150°C以下の温度の透明基体上に、Ni、Fe、およびCuから選ばれる少なくとも1種の添加元素を1〜5原子%含むチタンターゲットを使用して、スパッタリング法により前駆体層を成膜する。熱処理工程は、前駆体層が形成された透明基体を550〜750°Cの温度で熱処理して、ルチル型酸化チタンから主としてなる酸化チタン層を得る。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

150°C以下の温度の透明基体上に、Ni、Fe、およびCuから選ばれる少なくとも1種の添加元素を1〜5原子%含むチタンターゲットを使用して、スパッタリング法により前駆体層を成膜する成膜工程と、 前記前駆体層が形成された前記透明基体を550〜750°Cの温度で熱処理して、ルチル型酸化チタンから主としてなる酸化チタン層を得る熱処理工程と を有することを特徴とする積層体の製造方法。

IPC (7)：

C03C 17/27 ,  C01G 23/07 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  C03C 17/34 ,  B32B 9/00 ,  B60J 1/00

FI (7)：

C03C17/27 ,  C01G23/07 ,  C23C14/34 A ,  C23C14/58 A ,  C03C17/34 Z ,  B32B9/00 A ,  B60J1/00 H

F-Term (38)：

4F100AA21C ,  4F100AG00A ,  4F100AR00B ,  4F100BA02 ,  4F100EH66C ,  4F100EJ41C ,  4F100GB32 ,  4F100JD12 ,  4F100JG05C ,  4F100JN06 ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4G047CA05 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G059AA01 ,  4G059AB09 ,  4G059AC04 ,  4G059AC06 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EA09 ,  4G059EB04 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA48 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029DA08 ,  4K029DC03 ,  4K029DC33 ,  4K029DC34 ,  4K029EA01 ,  4K029GA01