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J-GLOBAL ID:201503020949614933

材料機械強度測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人 有古特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013183207
Publication number (International publication number):2015049222
Application date: Sep. 04, 2013
Publication date: Mar. 16, 2015
Summary:
【課題】マイクロメータースケール或いはナノメータスケールといった材料の微小領域における機械強度測定方法を提供する。【解決手段】分析装置100は、Arガスクラスターイオン30を生成するイオン源と、Arガスクラスターイオン30を照射する試料15と、試料15にArガスクラスターイオン30を照射することで発生する解離イオン30fを分析する質量分析器5とを備える。試料15にイオン30を照射することで発生する反射イオン30fを分析することによって試料15の機械強度を測定する。【選択図】図1
Claim 1:
試料にイオンを照射することで発生する反射イオンを分析することによって前記試料の機械強度を測定する、材料機械強度測定方法。
IPC (1):
G01N 27/62
FI (2):
G01N27/62 G ,  G01N27/62 V
F-Term (8):
2G041AA10 ,  2G041CA01 ,  2G041CA10 ,  2G041DA16 ,  2G041FA04 ,  2G041GA22 ,  2G041GA25 ,  2G041GA29

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