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J-GLOBAL ID：201503023395310669

開口部長さの測定方法、測定プログラム及び検査装置

Inventor： 生田 和輝
Applicant, Patent owner： グンゼ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013258828
Publication number (International publication number)：2015114297
Application date： Dec. 16, 2013
Publication date： Jun. 22, 2015
Summary：

【課題】対象物の開口部の長さを、画像処理によって、精度良くまた短時間で測定できる開口部長さの測定方法、測定装置、測定プログラム、及び当該測定方法を用いた検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】対象物の開口部を撮像し、得られた画像から測長方向両端部の端部領域を抽出し、抽出した端部領域それぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数に分割し、複数に分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める。求めた端部領域それぞれの境界点のいずれか1点の距離、または各境界点の平均距離を計測し、開口部の長さとする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対象物の開口部を撮像する撮像工程と、 前記撮像工程で得られた画像から測長方向の両端部の端部領域を抽出する端部抽出工程と、 前記端部領域のそれぞれを開口部形状の測長方向と直交する方向に複数分割し、分割した各領域の開口部形状と対象物表面との境界点を求める境界点抽出工程と、 前記端部領域それぞれにおける境界点のいずれか1点の距離、または各境界点の平均距離を計測し、開口部の長さとする測長工程と、 を含む開口部長さ測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/14 ,  G06T 7/60 ,  G06T 7/00

FI (3)：

G01B11/14 H ,  G06T7/60 150J ,  G06T7/00 300D

F-Term (36)：

2F065AA03 ,  2F065AA21 ,  2F065AA27 ,  2F065BB05 ,  2F065CC04 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL31 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR05 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA06 ,  5L096FA10 ,  5L096FA13 ,  5L096FA64 ,  5L096FA67 ,  5L096FA69 ,  5L096GA19 ,  5L096GA32 ,  5L096GA51 ,  5L096JA09