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J-GLOBAL ID:201503059381373085
自己組織化酸化物ナノ粒子を用いたナノインプリント用モールドおよびその製造方法、ならびに当該モールドを用いた転写方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013223852
Publication number (International publication number):2015085549
Application date: Oct. 29, 2013
Publication date: May. 07, 2015
Summary:
【課題】簡便、安価、かつ微細パターンを有するナノインプリント用モールドおよびその製造方法、ならびに当該モールドを用いた転写方法を提供する【解決手段】自己組織化で形成され、モールドの凸部表面の少なくとも一部が酸化物であるナノインプリント用モールド。有機金属化合物を含む有機溶液を基板上に塗布し、乾燥させ、さらに600°C〜900°C、大気中にて焼成し、さらにリアクティブイオンエッチングを行い、ナノインプリント用モールドを製造する。このナノインプリント用モールドを用いて、硬化性樹脂あるいは光硬化性樹脂にパターンを転写する。【選択図】図4
Claim (excerpt):
自己組織化で形成され、モールドの凸部表面の少なくとも一部が酸化物であるナノインプリント用モールド。
IPC (3):
B29C 59/02
, H01L 21/027
, B29C 33/38
FI (3):
B29C59/02 B
, H01L21/30 502D
, B29C33/38
F-Term (28):
4F202AA36
, 4F202AA44
, 4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AH63
, 4F202AJ02
, 4F202AJ09
, 4F202AR06
, 4F202CA19
, 4F202CB01
, 4F202CB29
, 4F202CD24
, 4F202CK12
, 4F209AA36
, 4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH63
, 4F209AH73
, 4F209AJ02
, 4F209AJ09
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F146AA28
, 5F146AA31
, 5F146AA32
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