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J-GLOBAL ID：201503065230023589

熱流サーモグラフィによる試料の検査方法

Inventor： ラン,ハイモ ,  ミルケ,ヨヘン
Applicant, Patent owner： ディーシージー システムズ、 インコーポライテッド
Agent (2)： 井関 勝守 ,  金子 修平
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2014545305
Publication number (International publication number)：2015500476
Application date： Dec. 10, 2012
Publication date： Jan. 05, 2015
Summary：

本発明は、熱流サーモグラフィ方法による試料の非破壊、非接触、および画像化検査のための方法を提供する。前記検査は、試料表面下の任意の熱流速変化の有無および/または深さ距離の値を評価することから成る。前記試料は少なくとも1つの励起源の熱パルスによって励起され、そこから発生する熱流は、熱画像の画像シーケンス内において、少なくとも1つの赤外線センサによって捕捉され、前記画像シーケンスから取得した熱画像は、信号および画像処理、ならびに時間および空間分解能によって熱流を表すことによって評価される。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

熱流サーモグラフィ方法による、試料の非破壊、非接触および画像化検査方法であって、 前記検査は、前記試料の表面下における任意の熱流速変化の有無、および/または深さ距離の値を評価することから成り、 前記試料は少なくとも1つの励起源の熱パルスによって励起され、そこから発生する熱流は、少なくとも1つの赤外線センサにより、熱画像の画像シーケンスにおいて捕捉され、 前記画像シーケンスから取得された前記熱画像は、信号処理および画像処理、ならびに時間分解能および空間分解能における熱流の描出によって評価され、 前記方法は、 前記励起源からの前記熱パルスによって、相互に独立して少なくとも2回、前記試料を励起し、2回目の励起、および任意の続く励起は、先行する励起に関して時間遅延によって遅延し、捕捉された前記画像シーケンスが、画像シーケンス内の2つの画像間における時間内で、別に定義した時点から始まるステップと、 前記励起と前記試料からの熱応答信号とを含む独立した前記画像シーケンスにおいて、前記試料の前記少なくとも2回の励起処理により生成される各熱流過程全体を、前記赤外線センサによって検出するステップと、 捕捉されたすべての画像シーケンスと画像シーケンス全体とを合成し、すべての画像は、前記パルスのような励起点に関してタイミングを合わせたシーケンスに配置されるステップと、 前記画像シーケンス全体より、既知の方法で前記試料の表面からの熱流速変化の前記深さ距離の指標を抽出するステップと、を含むことを特徴とする方法。

IPC (2)：

G01N 25/00 ,  G01N 25/72

FI (2)：

G01N25/00 A ,  G01N25/72 K

F-Term (8)：

2G040AA01 ,  2G040AA05 ,  2G040BA25 ,  2G040CA02 ,  2G040DA06 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02 ,  2G040GB08