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J-GLOBAL ID:201503069936356780

蛍光X線検出装置及び蛍光X線検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 河野 登夫 ,  河野 英仁
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2011097579
Publication number (International publication number):2011247882
Patent number:5704711
Application date: Apr. 25, 2011
Publication date: Dec. 08, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 X線源と、該X線源からのX線を、焦点を含む特定の大きさの第1空間に集中させる第1X線レンズと、試料へのX線の照射によって発生する蛍光X線の内、焦点を含む特定の大きさの第2空間からの蛍光X線を集光する第2X線レンズとを備え、前記第1空間と前記第2空間とを重ねておき、前記第2X線レンズが集光した蛍光X線を検出する蛍光X線検出装置において、 前記第1X線レンズの焦点の位置と、前記第2X線レンズの焦点の位置とを、前記第1空間及び前記第2空間の少なくとも一部が重なる範囲内で離隔してあること を特徴とする蛍光X線検出装置。
IPC (1):
G01N 23/223 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 23/223
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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