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J-GLOBAL ID:201503069936356780
蛍光X線検出装置及び蛍光X線検出方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (2):
河野 登夫
, 河野 英仁
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2011097579
Publication number (International publication number):2011247882
Patent number:5704711
Application date: Apr. 25, 2011
Publication date: Dec. 08, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 X線源と、該X線源からのX線を、焦点を含む特定の大きさの第1空間に集中させる第1X線レンズと、試料へのX線の照射によって発生する蛍光X線の内、焦点を含む特定の大きさの第2空間からの蛍光X線を集光する第2X線レンズとを備え、前記第1空間と前記第2空間とを重ねておき、前記第2X線レンズが集光した蛍光X線を検出する蛍光X線検出装置において、
前記第1X線レンズの焦点の位置と、前記第2X線レンズの焦点の位置とを、前記第1空間及び前記第2空間の少なくとも一部が重なる範囲内で離隔してあること
を特徴とする蛍光X線検出装置。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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X線検査装置及びX線検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-029899
Applicant:松下電器産業株式会社
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X線分析装置及びX線分析方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-182827
Applicant:独立行政法人科学技術振興機構
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蛍光X線三次元分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-216204
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
Article cited by the Patent:
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