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J-GLOBAL ID：201503071268762083
透過波面計測装置及び透過波面計測方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉村 俊一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013174970
Publication number (International publication number)：2015042967
Application date： Aug. 26, 2013
Publication date： Mar. 05, 2015
Summary：
【課題】限られたスペースに設置できる装置でサイズの大きな基板等の屈折率と厚みとの積算値の分布を正確に検査できる透過波面計測装置及び透過波面計測方法を提供する。【解決手段】被検査物100に発散光20を照射する光源2と、被検査物100の背面側に配された凹面鏡3と、凹面鏡3が反射した収束光30を平行光40に変換するレンズ4と、平行光40を透過させ、回折光を形成する回折格子5と、回折光が形成す干渉縞を撮像する撮像手段6と、撮像データをフーリエ変換法で空間周波数スペクトルを演算し、そのデータにより被検査物100の屈折率と厚みとの積算値の分布を演算する処理部7とを備え、レンズ4は、被検査物100の像を撮像手段6上に共役結像させ、撮像手段6は、回折光がトールボット像を形成する位置に配置された透過波面計測装置1及びこの装置を用いた透過波面計測方法で課題を解決する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被検査物に発散光を照射する光源と、
前記被検査物の背面側に配置された凹面鏡と、
前記凹面鏡によって反射された収束光を平行光に変換するレンズと、
前記レンズによって変換された前記平行光を透過させ、回折光を形成する回折格子と、
前記回折光により形成される干渉縞を撮像する撮像手段と、
前記干渉縞の撮像データをフーリエ変換法によって空間周波数スペクトルを演算し、該空間周波数スペクトルのデータに基づいて前記被検査物の屈折率と厚みとの積算値の分布を演算する処理部と、を備え、
前記レンズは、前記凹面鏡を反射して前記被検査物を透過した前記収束光に基づいて前記撮像手段上に前記被検査物の像を共役結像させ、
前記撮像手段は、前記回折光がトールボット像を形成する位置に配置されていることを特徴とする透過波面計測装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (1)：
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