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J-GLOBAL ID：201503072794366954

表面温度測定用熱電対及び表面温度測定装置

Inventor： 安部 可伸
Applicant, Patent owner： 株式会社アンベエスエムティ
Agent (3)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013193724
Publication number (International publication number)：2015059833
Application date： Sep. 19, 2013
Publication date： Mar. 30, 2015
Summary：

【課題】半導体ウェハ等の広い平面部の表面温度を、測定対象を加工することなく、簡単且つ正確に測定する。【解決手段】熱電対10、30の感温用先端部14を有する先端部12を、可撓性を有する、厚み10μm以上100μm以下の薄板状(16、18)、又は、直径10μm以上100μm以下の細線状(36、38)とすると共に、10°以上90°未満の所定角度θだけ屈曲する。この熱電対10、30を、感温用先端部14の高さを同一として格子点状又は同心円状等に複数配設して表面温度測定装置を構成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

感温用先端部を有する先端部が、可撓性を有する薄板状又は細線状とされると共に、所定角度だけ屈曲されていることを特徴とする表面温度測定用熱電対。

IPC (5)：

G01K 7/02 ,  G01K 1/14 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01K7/02 A ,  G01K1/14 A ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/66 T

F-Term (18)：

2F056CA01 ,  2F056CA15 ,  2F056KA01 ,  2F056KA03 ,  2F056KA12 ,  2F056KA14 ,  2F056KA16 ,  2F056KA18 ,  4M106AA01 ,  4M106CA31 ,  4M106DH02 ,  4M106DH15 ,  4M106DJ32 ,  5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F004CA04 ,  5F004CB12 ,  5F045GB05