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J-GLOBAL ID：201503078562398068
強誘電体の脱分極方法、および強誘電体デバイス
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
溝口 督生
, 油谷 英明
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010118656
Publication number (International publication number)：2011249421
Patent number：5667787
Application date： May. 24, 2010
Publication date： Dec. 08, 2011
Claim (excerpt)：
【請求項1】自発分極を示す分極処理が行われた分極処理強誘電体の脱分極方法であって、
前記分極処理強誘電体の初期状態における、C/Nの単位系で定義される圧電性レベルを測定する、初期圧電性レベル測定工程と、
前記分極処理強誘電体の自発分極が残らない状態の指標である、前記分極処理強誘電体の圧電性レベルの目標消失レベル値を設定する設定工程と、
前記分極処理強誘電体に、自発分極方向と逆向きの電界を印加する電界印加工程と、
前記電界印加工程中における、前記分極処理強誘電体の分域構造の分極を反転させる分域反転中における、前記分極処理強誘電体全体の印加中圧電性レベルを測定する、印加中圧電性レベル測定工程と、
前記分域反転中における前記印加中圧電性レベルが、前記目標消失レベル値以下であるかを判定する判定工程と、
前記判定工程において、前記印加中圧電性レベルが、前記目標消失レベル値以下である場合に、前記電界印加工程での電界印加を停止する停止工程と、を備える、分極処理強誘電体の脱分極方法。
IPC (2)：
H01L 41/257 ( 201 3.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
H01L 41/257
, H01L 41/113
