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J-GLOBAL ID：201503080138153440

研磨具及び研磨装置

Inventor： 佐野 泰久 ,  山内 和人 ,  村田 順二 ,  岡本 武志 ,  定國 峻 ,  八木 圭太
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社荏原製作所
Agent (2)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013215415
Publication number (International publication number)：2014027299
Patent number：5682076
Application date： Oct. 16, 2013
Publication date： Feb. 06, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 ゴム、樹脂、発泡性の樹脂または不織布のうち1つ以上の弾性体からなる基材と、 前記基材の少なくとも基板と接触する部位に配置される導電性部材と、 前記基材と前記導電性部材との間に両者の密着性を向上させるために介装されるカーボンまたはクロムからなる中間膜とを有することを特徴とする研磨具。

IPC (2)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B24B 37/24 ( 201 2.01)

FI (2)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 L