Pat
J-GLOBAL ID:201503082485385095
画像処理装置、画像処理方法およびプログラム
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
桂田 健志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013170842
Publication number (International publication number):2015041164
Application date: Aug. 20, 2013
Publication date: Mar. 02, 2015
Summary:
【課題】製造プロセスが変更になったり、環境変動が生じたりしても欠陥検出精度が劣化しない検査技術を提供する【解決手段】画像処理装置に、検査対象物の画像データから抽出される複数の第1特徴量に基づいて、各領域の中から欠陥候補点を検出する欠陥候補点検出手段と、検出された前記欠陥候補点に基づいて、欠陥候補領域を設定する欠陥候補領域設定手段と、前記欠陥候補領域を除く領域に対して、非欠陥候補領域を設定する非欠陥候補領域設定手段と、前記欠陥候補領域及び前記非欠陥候補領域のそれぞれから第2特徴量を算出する第2特徴量算出手段と、複数の非欠陥候補領域から抽出した第2特徴量に基づき、正常モデル識別器を生成する正常モデル識別器生成手段と、前記正常モデル識別器を用いて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、を備える。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
検査対象物の画像データから抽出される複数の第1特徴量に基づいて、各領域の中から欠陥候補点を検出する欠陥候補点検出手段と、
検出された前記欠陥候補点に基づいて、欠陥候補領域を設定する欠陥候補領域設定手段と、
前記欠陥候補領域を除く領域に対して、非欠陥候補領域を設定する非欠陥候補領域設定手段と、
前記欠陥候補領域及び前記非欠陥候補領域のそれぞれから第2特徴量を算出する第2特徴量算出手段と、
複数の非欠陥候補領域から抽出した第2特徴量に基づき、正常モデル識別器を生成する正常モデル識別器生成手段と、
前記正常モデル識別器を用いて、前記検査対象物の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
IPC (2):
FI (2):
G06T1/00 300
, G01N21/88 J
F-Term (28):
2G051AB02
, 2G051AC01
, 2G051AC04
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051EA08
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 2G051EC04
, 2G051EC05
, 2G051ED04
, 2G051ED11
, 5B057AA01
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CE06
, 5B057DA02
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DC36
, 5B057DC40
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