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J-GLOBAL ID：201503083009687110

研磨システムおよび研磨材寿命判別方法

Inventor： 高橋 洋祐 ,  佐藤 誠 ,  大森 恒 ,  西堀 麻衣子
Applicant, Patent owner： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  国立大学法人九州大学
Agent (2)： 池田 治幸 ,  池田 光治郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012170610
Publication number (International publication number)：2014028424
Patent number：5721109
Application date： Jul. 31, 2012
Publication date： Feb. 13, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 金属酸化物研磨材の寿命を判別可能な研磨システムであって、 前記金属酸化物研磨材にX線を照射して該金属酸化物研磨材の表面から放出される電子を収集することによって、該金属酸化物研磨材のX線吸収特性を測定する電子収量法XAFS測定部を有し、 前記電子収量法XAFS測定部によって測定された前記X線吸収特性を分析することにより、該金属酸化物研磨材の表面における金属原子とそれに近接する酸素との動径分布のピークを求め、該ピークの大きさに基づいて前記金属酸化物研磨材の寿命を判別することを特徴とする研磨システム。

IPC (3)：

B24B 37/00 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  G01N 23/06 ( 200 6.01)

FI (3)：

B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 622 E ,  G01N 23/06