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J-GLOBAL ID:201503098573969726

移動可能な構造物検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 西浦 ▲嗣▼晴 ,  ▲高▼見 良貴 ,  出山 匡 ,  酒井 俊尚
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013181225
Publication number (International publication number):2015049151
Application date: Sep. 02, 2013
Publication date: Mar. 16, 2015
Summary:
【課題】従来よりも検査対象構造物を深い範囲まで検査することができて、しかも従来よりも広い検査範囲を短時間で検査することができる、後方X線散乱方式を採用した移動可能な構造物検査装置を提供する。【解決手段】電子ビームによってスキャンされたターゲットから発生する複数のX線ビームをコリメータ37により平行にして検査対象構造物に複数の平行X線ビームを照射する。検査対象構造物の内部から散乱してきた散乱X線ビームの方向を予め定めた所定の複数の方向に制限する複数の散乱X線コリメータ47を設け、さらに複数の散乱X線コリメータ47に入射した散乱X線ビームで発光する複数のシンチレータ49を設ける。複数のシンチレータ49から発光された光を検知する複数の光検出器を設ける。【選択図】図1
Claim (excerpt):
X線を利用して検査対象構造物を検査する移動可能な構造物検査装置であって、 前記検査対象構造物の近傍に電子ビームをX線ビームに転換するライン状のターゲットを配置する電子ビーム・X線変換部と、 高エネルギー電子ビーム発生装置と、 前記高エネルギー電子ビーム発生装置により発生した電子ビームを真空中で輸送して前記ターゲットをライン状にスキャンする電子ビームスキャン装置と、 前記電子ビームによってスキャンされた前記ターゲットの各所から発生する複数の前記X線ビームを平行にし、前記検査対象構造物に複数の平行X線ビームをシート状にして照射するコリメータと、 1以上の散乱X線検出器と、 台座を有して前記検査対象構造物上を移動する移動台車とを備え、 前記1以上の散乱X線検出器は、前記検査対象構造物により散乱された複数の後方散乱X線ビームの深さ方向における散乱位置を特定するために、散乱された前記複数の後方散乱X線ビームのうち所定の方向に向かう後方散乱X線ビームのみを通過させる散乱X線コリメータと、前記散乱X線コリメータに入射した散乱X線ビームで発光するシンチレータと、前記シンチレータから発光された光を検知する光検出器とを備えており、 前記電子ビーム・X線変換部、前記電子ビームスキャン装置、前記コリメータ及び前記1以上の散乱X線検出器が前記移動台車の前記台座上に実装されている移動可能な構造物検査装置。
IPC (1):
G01N 23/203
FI (1):
G01N23/203
F-Term (7):
2G001AA01 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001GA12 ,  2G001KA01 ,  2G001KA20 ,  2G001LA20

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