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J-GLOBAL ID：201503099406581097
測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
細田 益稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013216949
Publication number (International publication number)：2015079684
Application date： Oct. 18, 2013
Publication date： Apr. 23, 2015
Summary：
【課題】プラズマを発生させるチャンバの状態を測定する。【解決手段】測定装置1は、二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサ14、24と、複数のミキサ14、24に共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源12と、複数のミキサ14、24に共通の補正信号入力を与えたときの、複数のミキサ14、24の出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定部54と、プラズマチャンバ6内のインピーダンス(負荷インピーダンスZL)を導出するインピーダンス導出部60と、誤差測定部54の測定結果に基づき、インピーダンス測定部62の測定結果を補正する誤差補正部56とを備える。なお、プラズマが発生するプラズマチャンバ6内の電極6aに与えられる進行波と、進行波がプラズマチャンバ6によって反射された反射波とを被測定信号入力とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、
二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する複数のミキサと、
前記複数のミキサに共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源と、
前記複数のミキサに共通の補正信号入力を与えたときの、前記複数のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定部と、
前記インピーダンスマッチング部における回路定数と、前記複数のミキサに周波数が共通する被測定信号入力を与えたときの前記複数のミキサの出力とから、前記プラズマチャンバ内のインピーダンスを導出するインピーダンス導出部と、
前記誤差測定部の測定結果に基づき、前記インピーダンス導出部の導出結果を補正する誤差補正部と、
を備え、
前記進行波と、該進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波とを前記被測定信号入力とする、
測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
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