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J-GLOBAL ID：201503099634525873
電位計測装置、及び原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
新居 広守
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013533501
Patent number：5737640
Application date： Sep. 12, 2012
Claim (excerpt)：
【請求項1】 試料の表面電位を計測する電位計測装置であって、
電極と、
前記電極と前記試料との間の静電気力に対応する電圧を出力する変位計測部と、
前記電極と前記試料との間に、第1の交流電圧を印加する第1の交流電源と、
前記電極と前記試料との間に、前記第1の交流電圧の周波数と異なる周波数を有する第2の交流電圧を、前記第1の交流電圧に加算して印加する第2の交流電源と、
前記変位計測部によって出力される電圧に含まれる特定の周波数成分の大きさを出力する信号検出部とを備え、
前記信号検出部は、前記変位計測部によって出力される電圧のうち、(1)前記第1の交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分の大きさおよび位相と、(2)前記第1の交流電圧の周波数と前記第2の交流電圧の周波数との差と同じ周波数の周波数成分の大きさとを、前記試料の表面電位を算出する電位算出部に出力することにより、前記試料の表面電位を計測する
電位計測装置。
IPC (2)：
G01Q 60/30 ( 201 0.01)
, G01Q 30/14 ( 201 0.01)
Cited by applicant (3)
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液中電位計測方法及び液中電位計測装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2009-200432
Applicant：TDK株式会社, 国立大学法人東京農工大学
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形状測定器
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-324119
Applicant：株式会社リコー
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走査型ケルビンプローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-070655
Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
Article cited by the Patent：
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