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J-GLOBAL ID：201602000631926425   Reference number：74A0033240

The determination of rms roughness and correlation length of rough surface by measuring spatial coherence function.

空間コヒーレンス関数測定によるあらい表面のrmsあらさと相関距離の決定

Author (3)： NAGATA K ,  UMEHARA T ,  NISHIWAKI J
Material： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
Volume： 12  Issue： 11  Page： 1693-1698  Publication year： 1973 
JST Material Number： G0520A  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPA   Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Semi thesaurus term： コヒーレンス関数 ,  相関距離 ,  表面あらさ

Terms in the title (4)： コヒーレンス関数 ,  RMS ,  あらさ ,  相関距離