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J-GLOBAL ID：201602002053385346   Reference number：58A0060867

Formation of Junction Structures by Solid-State Diffusion.

固体内拡散による接合構造の組織(矛3族および5族の不純物の,ゲルマニウム,シリコン内への拡散についての拡散係数,拡散万糧式の解,また拡散層の算出法,拡散技術について)

Author (1)： SMITS F M
Material： Proc Inst Radio Eng Aust  (Proceedings. Institution of Radio Engineers, Australia)
Volume： 46  Issue： 6  Page： 1049-1061  Publication year： 1958 
JST Material Number： D0384A  Document type： Article
Country of issue： Australia (AUS) 

JST classification (1)： (EC040206)

Terms in the title (12)： 固体内拡散 ,  接合構造 ,  組織 ,  3族 ,  不純物 ,  ゲルマニウム ,  シリコン ,  拡散 ,  拡散係数 ,  解 ,  拡散層 ,  算出法