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J-GLOBAL ID：201602003660342580   Reference number：73A0090186

研削とラッピングにおけるフェライトの破壊層 フェライトの加工変質層 I

Author (2)： 渡辺純二 (日本電電公社・武蔵野通研) ,  上野よしゆき (日本電電公社・武蔵野通研)
Material： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 38  Issue： 11  Page： 953-959  Publication year： 1972 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA   Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： き裂 ,  フェライト ,  ラップ仕上 ,  研削 ,  破壊

Reference (7)：

• 1) 小宮昇 : フェライトの精密加工法(1), (2), 砥粒加工, 2, 8(1965)421および2, 10(1965)520.
• 2) 松井正己 : 硬脆材料の超仕上げに関する研究(第2報), 精密機械, 35, 3(1961)184.
• 3) 小野員正ほか : ゲルマニウム, シリコン単結晶の加工ひずみ, 通研実報, 10, 5(1961)925.
• 4) Klaus Peter; Sprondbruch und Mikroplastizität von Glas in Eindruckverschen, 37, 7 (1964) 333.
• 5) 井田一郎ほか : 超微小引っかきかたさ測定機の試作とGaAs加工面への適用, 精密機械, 35, 2(1969)107.

Terms in the title (5)： 研削 ,  ラッピング ,  フェライト ,  破壊 ,  加工変質層