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J-GLOBAL ID：201602003968558869
Reference number：58A0032766
Electropolishing Silicon in Hydrofluoric Acid Solutions.
ふつ化水素酸溶液中のけい素の電解研摩
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Publisher site
Copy service
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Access JDreamⅢ for advanced search and analysis.
Author (1)：
Material：
Volume：
105
Issue：
7
Page：
402-408
Publication year：
1958
JST Material Number：
C0285A
ISSN：
0013-4651
CODEN：
JESOAN
Document type：
Article
Country of issue：
United States (USA)
Terms in the title (5)：
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