Art

J-GLOBAL ID：201602006630570390   Reference number：58A0033401

Chemical Needs of Semiconductors.

半導体工業に必要とされる薬品 将来の生産に対する新原料(主要な最純元素,所要薬品類とガス類けい素の例)

Material： Chem Age  (Chemical Age)
Volume： 80  Issue： 2040  Page： 263  Publication year： 1958 
JST Material Number： B0248A  Document type： Article
Country of issue： United Kingdom (GBR) 

JST classification (1)： (NC010105)

Terms in the title (6)： 半導体工業 ,  薬品 ,  原料 ,  元素 ,  ガス類 ,  けい素