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J-GLOBAL ID：201602007478105276   Reference number：73A0030208

Formation of silicon oxide over gold layers on silicon substrates.

シリコン基板上の金層の上の酸化シリコンの形成
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Author (3)：
HIRAKI A

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Material：
J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)

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Volume： 43  Issue： 9  Page： 3643-3649  Publication year： 1972 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)
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