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J-GLOBAL ID：201602008043224830
Reference number：58A0040383
Diffusion Control in Silicon by Carrier Gas Composition.
けい素における拡散をキャリヤー・ガスで制御
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Publisher site
Copy service
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Access JDreamⅢ for advanced search and analysis.
Author (2)：
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Material：
Volume：
105
Issue：
12
Page：
695-699
Publication year：
1958
JST Material Number：
C0285A
ISSN：
0013-4651
CODEN：
JESOAN
Document type：
Article
Country of issue：
United States (USA)
JST classification (1)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Terms in the title (3)：
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