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J-GLOBAL ID：201602008797410193   Reference number：58A0052872

The Insulator Contamination Problem.

シリコン化合物表面処理を用いたがいしの対汚染処理

Author (2)： CONNER J E ,  LANTZ A D Jr
Material： unknown
Volume： 77  Issue： 4  Page： 297  Publication year： 1958 
JST Material Number： Z0000A  Document type： Unknown
Country of issue： Other (ZZZ) 

JST classification (6)： (EA010100) ,  (MK010108) ,  (NK010109) ,  (EA010203) ,  (NK070103) ,  (EA010306)

Terms in the title (4)： シリコン化合物 ,  表面処理 ,  がいし ,  汚染