Art
J-GLOBAL ID：201602010261982121
Reference number：66A0020687
Dielectric thin films through rf sputtering.
高周波スパッタによる誘電体薄膜
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Publisher site
Copy service
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Access JDreamⅢ for advanced search and analysis.
Author (2)：
,
Material：
Volume：
37
Issue：
2
Page：
574-579
Publication year：
1966
JST Material Number：
C0266A
ISSN：
0021-8979
CODEN：
JAPIAU
Document type：
Article
Article type：
原著論文
Country of issue：
United States (USA)
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