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J-GLOBAL ID：201602015415960870
Reference number：64A0183260
Diffusion of impurities during epitaxy.
エピタキシ中の不純物の拡散
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Publisher site
Copy service
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Access JDreamⅢ for advanced search and analysis.
Author (1)：
Material：
Volume：
2
Issue：
3
Page：
284-295
Publication year：
1964
JST Material Number：
D0378A
ISSN：
0018-9219
CODEN：
IEEPAD
Document type：
Article
Article type：
原著論文
Country of issue：
United States (USA)
Terms in the title (3)：
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