Art

J-GLOBAL ID：201602018277712419   Reference number：58A0054622

Evolution des techniques de realisation des dis-positifs a semiconducteurs.

半導体装置製造技術の発展(材料,製品の製造技術についての現況を紹介し今後の特性向上価格低減などの観点を述べてある)

Author (1)： MERCIER J
Material： Onde Electr  (Onde Electrique)
Volume： 38  Issue： 374  Page： 342-346  Publication year： 1958 
JST Material Number： D0247A  ISSN： 0030-2430  CODEN： ONELA   Document type： Article
Country of issue： France (FRA) 

Terms in the title (5)： 半導体装置製造 ,  発展 ,  製造技術 ,  価格低減 ,  観点