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J-GLOBAL ID：201602207862108656   Reference number：16A0380132

Present Status and Future Prospects of Nano-Carbon Interconnect Technologies for LSIs

LSIs用のナノカーボン相互接続技術の現状と将来展望

Author (1)： AWANO Yuji (Keio Univ., Yokohama, JPN)
Material： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (IEEE International Electron Devices Meeting)
Volume： 2015  Page： 398-401  Publication year： 2015 
JST Material Number： C0829B  ISSN： 0163-1918  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： molecular cluster ,  nanostructure ,  *interconnection ,  graphene ,  *carbon nanotube ,  via hole ,  *VLSI ,  adaptability ,  nano-carbon
Semi thesaurus term： adaptability

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (4)： ナノカーボン ,  相互接続 ,  現状 ,  将来展望