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J-GLOBAL ID：201602208999113548   Reference number：16A0178509

セラミックスと異種材料の接合技術 原子拡散接合法によるセラミックスと異種材料との室温接合

Author (2)： SHIMATSU TAKEHITO (Tohoku Univ.) ,  UOMOTO MIYUKI (Tohoku Univ.)
Material： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 51  Issue： 2  Page： 91-93  Publication year： Feb. 01, 2016 
JST Material Number： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *dissimilar material joining ,  *ceramics ,  *metal ,  wafer ,  *diffusion bonding ,  diffusion ,  room temperature ,  evaporated film ,  gold ,  titanium ,  aluminum ,  quartz ,  sapphire ,  surface structure ,  bond strength ,  grinding ,  sequence and arrangement ,  crystal structure
Semi thesaurus term： atomic diffusion ,  interface structure ,  bond strength ,  mirror surface grinding ,  atomic arrangement

JST classification (2)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (16)：

• T. Shimatsu and M. Uomoto, J. Vac. Sci. Technol. B, 28, 706-714 (2010).
• 島津武仁,魚本 幸, まてりあ (日本金属学会), 49, 521-527 (2010).
• T. Shimatsu and M. Uomoto, ECS Transactions, 33, 61-72 (2010).
• T. Suga, K. Miyazawa and Y. Yamagata, MRS Internal Meeting on Advanced Materials, Materials Research Society, 8, 257 (1989).
• T. Suga, Y. Takahashi, H. Takagi, B. Gibbesch and G. Elssner, Acta Metall. Mater., 40, s133-s137 (1992).

Terms in the title (4)： セラミックス ,  異種材料 ,  原子拡散 ,  室温