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J-GLOBAL ID：201602214235249874   Reference number：16A0942043

3DAPとSTMの併用による複合測定手法の開発

Author (3)： YAMAGUCHI YUKIHIRO (京大 大学院) ,  KUROKAWA SHU (京大 大学院) ,  SAKAI AKIRA (京大 大学院)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 77th  Page： ROMBUNNO.15p-P4-5  Publication year： Sep. 01, 2016 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *elemental analysis ,  *spatial distribution ,  scale ,  *atom-probe FIM ,  *scanning tunneling microscope ,  *integration (unification) ,  *nano scale
Semi thesaurus term： *atom probe field ion microscope

JST classification (1)： Other phsical analysis  (CC03014E)

Terms in the title (5)： 3DAP ,  STM ,  併用 ,  手法 ,  開発