Art

J-GLOBAL ID：201602216229661337   Reference number：16A0235286

超高精度平面形状計測技術と平面ガラス基板の開発

Author (1)： BITO YOICHI (産業技術総合研)
Material： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
Volume： 65  Issue： 4  Page： 67-72  Publication year： Feb. 20, 2016 
JST Material Number： F0771A  ISSN： 1880-1420  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： technology ,  *substrate(plate) ,  accuracy ,  *flatness(property) ,  *uncertainty ,  interferometer ,  principle ,  angle measurement ,  shape measurement ,  case study
Semi thesaurus term： 平面形状 ,  *measurement technique ,  超高精度 ,  サブナノメートル ,  Fizeau interferometer ,  measurement principle ,  三面合わせ法 ,  surface metrology ,  平面ガラス基板 ,  傾斜角計測

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (9)：

• ITRS 2009 : International Technology Roadmap for Semiconductors 2009 Edition
• BIPM : Calibration and Measurement Capabilities of National Metrology Institutes, http://kcdb.bipm.org/AppendixC/country_list.asp
• 高辻利之、尾藤洋一、大澤尊光、古谷涼秋、”三枚合わせ法により平面度絶対校正アルゴリズム、”精密工学会誌、72(11)1368-1373,2006.
• Takatsuji T, Osawa S, Kuriyama Y and Kurosawa T 2003 Stability of the reference flat used in Fizeau interferometer and its contribution to measurement uncertainty Proc. SPIE 5190 431-439
• Frank Siewert, Jana Buchheim, Thomas Zeschke, ” Characterization and calibration of 2nd generation slope measuring profiler, ” Nucl. Instr. And Meth. A, 616 119-127, 2010.

Terms in the title (4)： 平面形状 ,  計測技術 ,  ガラス基板 ,  開発